超高精度智能立式二次倒角装备的研发及产业化建设

江苏福拉特半导体设备有限公司主要进行智能化装备生产及检测实验室，智能化装备生产项目为超高精度智能立式二次倒角装备组装，投产后预计年产超高精度智能立式二次倒角装备150台；检测实验主要进行近红外光谱实验、紫外分光光度计实验、定容实验等，用于半导体在线设备浓度监测研发，采集实验数据，售卖给半导体在线设备使用企业，研发量为490（L/a）。