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8英寸高性能MEMS惯性传感器的研发及产业化

审批浙江 宁波 更新:2026-01-20 07:01:21

项目介绍

8英寸高性能MEMS惯性传感器的研发及产业化位于浙江宁波,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额暂未确定。

在中芯宁波原有8英寸特色工艺集成电路产线基础上,新增建设规模与内容,购买光刻机、物理气相沉积、表面修整等先进半导体设备若干台/套,完成高性能MEMS惯性传感器的研发及产业化,并且具备3000片/月的生产能力。
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半导体设备传感器光刻机立项备案
📍 浙江本地:半导体设备传感器光刻机立项备案
项目名称:8英寸高性能MEMS惯性传感器的研发及产业化
项目名称:8英寸高性能MEMS惯性传感器的研发及产业化
项目编号:1329817
所属行业:机械电子电器-机电其他
建设性质:新建
当前阶段:立项
进展描述:备案
资金来源:自筹
业主类型:企事业类
项目等级:审批
所在地区:浙江 - 宁波
更新时间:
建设内容:在中芯宁波原有8英寸特色工艺集成电路产线基础上,新增建设规模与内容,购买光刻机、物理气相沉积、表面修整等先进半导体设备若干台/套,完成高性能MEMS惯性传感器的研发及产业化,并且具备3000片/月的生产能力。
数据来源:建强金项
发布者:建强金项
当前版本号:1