8英寸高性能MEMS惯性传感器的研发及产业化
项目介绍
8英寸高性能MEMS惯性传感器的研发及产业化位于浙江宁波,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额暂未确定。
在中芯宁波原有8英寸特色工艺集成电路产线基础上,新增建设规模与内容,购买光刻机、物理气相沉积、表面修整等先进半导体设备若干台/套,完成高性能MEMS惯性传感器的研发及产业化,并且具备3000片/月的生产能力。
🔑 请登录 查看完整项目信息(联系人、环评、进展、附件等)