高端半导体芯片掩模版制造基地技术改造项目
项目介绍
高端半导体芯片掩模版制造基地技术改造项目位于广东珠海,属于机械电子电器类项目[机械],该项目是改扩建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为5460-6600万元。
本项目为一项产能提升技术改造。旨在通过新增一台高精度清洗设备和一台干法蚀刻设备,对现有产线的清洗及蚀刻关键环节进行升级,以解决产能瓶颈,最终将生产线整体月产能提升至1800片\r
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