福州京东方阵列工艺光刻精度升级技改项目
项目介绍
福州京东方阵列工艺光刻精度升级技改项目位于福建福州,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是改扩建,企事业类;已到环评阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是环境影响评价拟审批公示,项目计划投资金额为44590-53900万元。
项目对现有福州第8.5代新型半导体显示器件生产线阵列工程光刻设备进行升级改造,通过购置及改造自动化高精度曝光、刻蚀等设备,提升工艺精度,支持9mask阵列工艺,新增Oxide产品制造能力。技改后阵列玻...
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