高分辨率光栅尺建设项目

项目建设内容包括光栅母版研制、读数系统研制和光栅尺批量生产三部分：1.建设高精度测量光栅母版研发制造能力。包括升级精密隔振平台，洁净温控系统和清洗、涂胶、烘烤、曝光、显影、刻蚀、镀膜等工艺设备，购置设备7台（套）对现有设备升级；2.建设高分辨率读数系统研发制造能力。包括可制造性设计平台、装调工艺固化与装配平台和全链条测试平台与品控体系，研制购置新设备3套；3.建设高分辨率光栅尺生产线，包括高标准洁...