半导体EUV光刻机用二氧化碳增压风机研发及产业化

半导体EUV光刻机用二氧化碳增压风机研发及产业化位于湖北，属于机械电子电器类项目[机械]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为1820-2200万元。