西北恒辉电子(内蒙古)有限责任公司微电子晶圆片厂
项目介绍
西北恒辉电子(内蒙古)有限责任公司微电子晶圆片厂位于内蒙古鄂尔多斯,属于机械电子电器类项目[电子电器],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为600600-726000万元。
新建一座年产240万片微电子晶圆片厂。工艺路线:硅棒滚圆与定向加工→切片与粗清洗→圆边与初研磨一镜面抛光与精研磨→清洗与包装。并采用高温、低压技术进行单晶薄膜外延生长。自有资金:660000万元,申请...
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