福建华清电子材料科技有限公司年产陶瓷热板1000件、陶瓷加热盘300件、静电卡盘500件项目

项目用地面积106115平方米，新建和装修厂房40000平方米，主要面向集成电路制程中的蚀刻机、PVD和CVD等核心设备中的关键零部件研发及生产，购置印刷机、打孔机、烧结炉、研磨机、流延机、超声波扫描显微镜、真空钎焊炉、真空石墨炉及配套设备。项目建成后新增生产能力：年产陶瓷热板1000件、陶瓷加热盘300件、静电卡盘500件，可实现产值3亿元以上。新增生产能力（或使用功能）：年产陶瓷热板1000件...