华池县碳基晶圆产业链制备项目

规划占地266668㎡（400亩），总建筑面积95360㎡，其中：石墨化车间8000㎡，安装30000KVA 石墨化炉一组4台；耐火材料深加工车间5000㎡，安装颚式破碎机、气流磨、精密筛分机等破碎、研磨和分级设备20台套；高温提纯车间3360㎡，安装特制一拖三高温提纯炉60 台套和特制SiC粉体生产线70条；碳基晶圆车间45000㎡和大功率外延片车间9000㎡，购置气相沉积法1600台套；实验中...