G8.6高迁移率金属氧化物镀膜物理气相沉积装备开发及产业化
项目介绍
G8.6高迁移率金属氧化物镀膜物理气相沉积装备开发及产业化位于广东佛山,属于冶金矿产类项目[金属制品],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为10920-13200万元。
项目占地面积约2782平方米,拟通过购置粗糙度量测仪、激光三维扫描仪等生产设备和仪器新建项目厂房,研制G8.6高迁移率金属氧化物镀膜物理气相沉积装备,达产年形成年产5台(套)G8.6高迁移率金属氧化物镀膜物理气相沉积装备。
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