面向先进工艺量测设备用高分辨率光栅尺研发和产业化

面向先进工艺量测设备用高分辨率光栅尺研发和产业化位于浙江杭州，属于建筑房地产类项目[厂房]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为17302-20914万元。