芯慧联新型显示及集成电路工艺设备研发制造基地项目
项目介绍
芯慧联新型显示及集成电路工艺设备研发制造基地项目位于广东佛山,属于机械电子电器类项目[机械],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为45500-55000万元。
本项目使用佛山市三龙湾数智科创产业园4号厂房的1层和2层,位于佛山南海区环岛南路,面积约4600平方米,主要内容为研发生产新型显示干法刻蚀装备,以及自动化设备、去胶设备、涂胶显影等集成电路高端工艺设备。
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