黑龙江省2025年度支持哈工大双一流建设-极紫外光刻机光源收集器超精密制造产业化项目
项目介绍
黑龙江省2025年度支持哈工大双一流建设-极紫外光刻机光源收集器超精密制造产业化项目位于黑龙江齐齐哈尔,属于机械电子电器类项目[机械],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为4550-5500万元。
项目总投资5000万元。固定资产投资1500万元,主要用于设备费投入,包括自制一台大型AFM测量机、改造磁控溅射镀膜机、自制抛光设备、购置大口径波面干涉仪等;研发投入3500万元,用于光源收集器加工费...
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