金刚石晶圆及微波等离子体气相沉积设备制造项目
项目介绍
金刚石晶圆及微波等离子体气相沉积设备制造项目位于江苏无锡,属于机械电子电器类项目[机械],该项目是新建,企事业类;已到环评阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是环境影响评价拟审批公示,项目计划投资金额为1820-2200万元。
建设MPCVD设备腔体型号为MPDF2450-6K,频率2450MHz,输出功率0.6-6kW连续可调,极限真空≤0.1Pa,漏率≤1×10??Pa·m3/s,腔体尺寸约6英寸,产品晶圆约3英寸,目前...
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