图米半导体立式炉高压退火设备生产基地项目

项目拟投资3亿元分两期建设立式炉高压退火设备生产基地项目。一期投资0.6亿元，建设半导体立式炉高压退火设备研发中心，依托现有技术研发新一代Alpha机产品系列；二期投资2.4亿元，建设半导体立式炉高压退火设备量产基地，围绕客户订单需求，提升年产能力。