高端半导体设备研发生产基地建设项目

项目租赁厂区内原有的厂房和办公楼，总建筑面积1900平方米，其中厂房1300平方米，办公楼600平方米。项目新购置了旋转台、双频激光干涉仪、超精密光学定心车床等精密光学加工、检测、装调设备，搭建了球面测试工作站，以及配套的百级、万级洁净室。项目建成后，可年生产精密光学系统200-300套，预计年产值2000万-3000万元。计划于202811建成。