基于65nm逻辑的硅光工艺及光电共封关键技术研发项目
项目介绍
基于65nm逻辑的硅光工艺及光电共封关键技术研发项目位于广东,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为70070-84700万元。
该项目为研发项目,无实际新增产能。项目建设内容为基于已有90nm硅基光电工艺平台及CMOS工艺技术基础,开展65nm硅光集成核心技术研发,及硅基转接板工艺研发、硅光芯片与电芯片的集成工艺研发,应用于人...
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