集成电路制造装备高性能工艺电源研发和产业化基地前期启动项目
项目介绍
集成电路制造装备高性能工艺电源研发和产业化基地前期启动项目位于湖北武汉,属于机械电子电器类项目[机械],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为2730-3300万元。
租赁厂房,购置等离子腔体电源实验平台、射频电源测试平台等设备,建设半导体制造设备工艺电源的研发实验室及工业电源生产产线,建成后研发并生产集成电路制造装备高性能工艺电源,达产后年产能约15000万。
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