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集成电路制造装备高性能工艺电源研发和产业化基地前期启动项目

审批湖北 武汉 更新:2025-11-12 07:00:18

项目介绍

集成电路制造装备高性能工艺电源研发和产业化基地前期启动项目位于湖北武汉,属于机械电子电器类项目[机械],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为2730-3300万元。

租赁厂房,购置等离子腔体电源实验平台、射频电源测试平台等设备,建设半导体制造设备工艺电源的研发实验室及工业电源生产产线,建成后研发并生产集成电路制造装备高性能工艺电源,达产后年产能约15000万。
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项目名称:集成电路制造装备高性能工艺电源研发和产业化基地前期启动项目
项目名称:集成电路制造装备高性能工艺电源研发和产业化基地前期启动项目
项目编号:1191678
投资金额:2730-3300CNY 万元
所属行业:机械电子电器-机械
建设性质:新建
当前阶段:立项
进展描述:备案
资金来源:自筹
业主类型:企事业类
项目等级:审批
所在地区:湖北 - 武汉
计划开工时间:2025-12
更新时间:
建设内容:租赁厂房,购置等离子腔体电源实验平台、射频电源测试平台等设备,建设半导体制造设备工艺电源的研发实验室及工业电源生产产线,建成后研发并生产集成电路制造装备高性能工艺电源,达产后年产能约15000万。
数据来源:建强金项
发布者:建强金项
当前版本号:1