海力士非易失性存储器F68及F68A生产线升级改造项目一期
项目介绍
海力士非易失性存储器F68及F68A生产线升级改造项目一期位于辽宁大连,属于建筑房地产类项目[厂房],该项目是改扩建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额暂未确定。
建设规模和主要建设内容:购置光刻设备、离子注入设备、扩散设备、刻蚀设备、平面处理设备及测量仪器等相关配套设备支持系统,共计287台(套),用于对现有生产线进行升级改造,以支持第4代和第5代3D NAN...
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