高精度惯性传感器及惯性导航系统核心技术研发与批量生产产线建设项目

项目首先建设一套百级洁净超精密装配工位、千级洁净精密装配环境车间，并同时具备高精度月重复性测试系统、温度系数验证系统、离心测试系统、高低温试验系统、真空设备、各型磁性材料晶向排列系统、精密焊接系统。在环境内生产φ25mm、φ18石英挠性加速度计；研发MEMS单轴、双轴、三轴陀螺仪和加速度计、MEMS惯性测量单元。产品精度覆盖航天、航空、兵器、海防、电子、矿业等应用领域。