国家纳米智造产业创新中心微纳加工平台建设项目二次配线配管EPC工程

本项目占地面积4303.09平方米，总建筑面积13021.34平方米，在该场地及建筑空间内开展工艺设备配套（含二次配线配管，实现设备管线精准对接）；电力保障（装工业级UPS保障关键设备供电，配VDC设备及电缆抵御电网波动，维持生产连续）；流体及气体系统（装工艺排风、纯水废水冷却水管道，建大宗气体、特气管道及侦测系统，保障废气排出、流体输送与气体安全）。建成后满足工艺设备运行需求，电力系统实现不间断...