12英寸集成电路数模混合特色工艺生产线项目(四期项目)
项目介绍
12英寸集成电路数模混合特色工艺生产线项目(四期项目)位于广东,属于机械电子电器类项目[电子电器],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为2293200-2772000万元。
建筑面积210000平方米,占地面积60000平方米。 产品名称:12英寸晶圆,设计生产能力:年产48万片12寸晶圆。主要建设内容为土建施工、生产线设备安装等,主要设备包括化学机械抛光(CMP)、化学气相沉积(CVD)、扩散(DIFF)、光刻(LITHO)、刻蚀(ETCH)、离子注入(IMP)、湿法刻蚀(WET)等。符合《产业结构调整指导目录(2019年本)》修正版二十八、信息产业19、线宽0.8...
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