6英寸硅基mems晶圆研发制造项目
项目介绍
6英寸硅基mems晶圆研发制造项目位于广东珠海,属于机械电子电器类项目[机械],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为910-1100万元。
专注于6英寸硅基MEMS(微机电系统)晶圆的集成电路研发、制造、销售企业(不涉及8英寸及以上硅基晶圆的生产制造),自主建成百级洁净晶圆产线与微流控研发实验室,拥有高精度光刻对准、薄膜制造、晶圆级封装等...
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