浦江县海纳半导体（金华）有限公司半导体抛光片中试验证及检测配套平台建设项目

新建半导体抛光片中试车间及配套辅助设施；购置半导体抛光片中试及检测核心装备,涵盖缺陷检测、尺寸形貌分析、材料检测、工艺验证及环境控制等类型。突破半导体抛光片中试设备短缺、技术转化能力不足问题;建成半导体抛光片中试检测及工艺优化验证,助力浙江省半导体材料产业链补短板、强链条。