IGBT产线用氢离子注入装备技术研发和应用
项目介绍
IGBT产线用氢离子注入装备技术研发和应用位于山东青岛，属于能源工业类项目[能源其他]，该项目是新建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为22750-27500万元。
依托前期已备案的半导体先进装备研发制造中心项目（备案号：2303-370211-89-01-624344）（主要内容：投资 120183 万元，建设总占地面积 90 亩，规划建筑面积 92000 平方米，新建厂房 52000 平方米）。在已建成的半导体先进装备研发制造中心一期研发车间中进行设施改建，提供1000平方米的研发区域，结合相应的软硬件配套设施（供水、供气、供电等），开展IGBT产线用氢离...
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