鑫禄元先进制程TGV中试平台项目

该项目位于宁津县新城智谷产业园内，主要购置批量型设备：皮秒激光改性设备、通孔蚀刻设备、等离子蚀刻设备、磁控溅射物理气相沉积设备（PVD），电化学沉积（ECD）设备等；原料为先进封装玻璃基板板材、ABF先进封装有机基板板材，碱性蚀刻液、磁控溅射钛、铜靶材，ECD相关电镀液和添加剂、高精细铜粉等；工艺流程为：激光成孔–种层镀膜–电镀填孔与增厚，用于实现TGV与RDL制程工艺样品制作，指标为TGVAR=...