青岛芯微接触式曝光设备研发及产业化

租赁青岛嘉星晶电科技产业园有限公司4号楼2000平方米，用于新建半导体曝光和检测专用设备研发与试验基地，建设用于新产品研发的洁净实验室和无尘车间，购置电源系统、控制系统、半导体专用设备等20台设备，研发基于接近式曝光技术研发应用于芯片后道封装及高端器件领域的半导体曝光专用设备。产品可应用于MEMS器件、光伏面板、显示类芯片等领域。