新一代高性能化合物半导体外延片智能制造与产能提升项目
项目介绍
新一代高性能化合物半导体外延片智能制造与产能提升项目位于陕西西安,属于机械电子电器类项目[机械],该项目是技改及其他,市政类;已到环评阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是环境影响评价拟审批公示,项目计划投资金额为20930-25300万元。
项目拟购置硬件设备30台套,包含MOCVD、Scrubber、高温炉等国际先进水平的核心工艺设备,同步部署以ERP、MES为核心的智能化生产管理系统,用于产线升级和智能化改造,提升化合物半导体外延片制...
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