半导体高端设备高洁净清洗线自动化技术改造
项目介绍
半导体高端设备高洁净清洗线自动化技术改造位于广东广州,属于机械电子电器类项目[电子电器],该项目是改扩建,企事业类;已到环评阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是环评公示,项目计划投资金额暂未确定。
本扩建项目占地面积3600m2,扩建项目每年清洗修复半导体生产设备精密部件12万件。扩建项目建成后全厂年清洗修复半导体生产设备精密部件82万件,年清洗修复TFT生产设备精密部件143万件。
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