叠层氧化硅、氮化硅湿法蚀刻设备生产项目

项目承租厂房面积约5000平方米。项目建设内容包括租赁厂房用地和附属设施，纯水站建设及输送系统建设和机电安装工程，项目拟购置设备6台（套），包含购置空气净化设备系统，超纯压缩空气设备系统，超纯水处理供给设备等配套设施，用于叠层氧化硅、氮化硅湿法蚀刻设备生产项目（该备案为告知性备案，涉及有关行业管理部门职责的，以行业管理部门意见为准）。