亚纳米套刻量测设备
项目介绍
亚纳米套刻量测设备位于浙江杭州,属于机械电子电器类项目[机械],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为9333-11282万元。
项目将基于ULS光源的高精度光学系统,结合自主设计的窄带滤波模块与高稳定性探测单元,构建全流程国产化套刻误差量测装备。
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