浙江晶盛机电股份有限公司先进晶背减薄装备技术研发及产业化项目
项目介绍
浙江晶盛机电股份有限公司先进晶背减薄装备技术研发及产业化项目位于浙江绍兴,属于机械电子电器类项目[机电其他],该项目是新建,企事业类;已到立项阶段,在全国工程立项情报平台建强金项上发布后,目前最新标记状态是备案,项目计划投资金额为8782-10615万元。
项目利用现有厂房,攻克高刚度低振动空气主轴、陶瓷载台多相流体稳定性与表面结构形貌控制、超精密面型调控等关键核心技术,研发出先进晶背减薄装备,实现国产替代,推动集成电路产业高质量发展。
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