面向先进半导体制造的超精密光学镜头关键技术研发及应用

面向先进半导体制造的超精密光学镜头关键技术研发及应用位于河南新乡，属于机械电子电器类项目[机械]，该项目是改建，企事业类；已到立项阶段，在全国工程立项情报平台建强金项上发布后，目前最新标记状态是备案，项目计划投资金额为2048-2475万元。