航空工业集团清洗-光胶涂布-显影装置公告

 清洗-光胶涂布-显影装置招标公告
1.招标条件 
本招标项目清洗-光胶涂布-显影装置,招标人为厦门天马微电子有限公司，招标项目资金已落实，该项目已具备招标条件，现对清洗-光胶涂布-显影装置进行公开招标。
2.项目概况与招标范围 
项目概况与招标范围：清洗-光胶涂布-显影装置 1台 
招标编号：0730-264010020011-29
包名称：清洗-光胶涂布-显影装置
数量：1台
简要技术要求：1）本系统是自动流水线处理系统，可以进行基板清洗、光阻材料涂布以及显影，可在短时间（节拍时间）内对阵列黄光制程进行高精度处理。 2）规格：动态检测基板带电量＜±200V (投标文件中需提供离子棒、X-ray、静电压监控sensor位置，EUV、IUV ESD改善方案) 3）投标人必须提供EUV单元的售后服务（投标文件中需提供EUV单元售后服务承诺书） 
3.投标人资格要求 
3.1 投标人资格要求：一旦中标，投标人必须是与招标人签订本项目合同的签约方。如投标人不具备与招标人签订合同的能力，其投标将被否决。（说明：招标中必须谁投标、谁中标、谁签合同，不能甲投标，乙签合同。）
3.2 本次招标：不接受联合体投标。
3.3 未领购招标文件是否可以参加投标：不可以。
4. 招标文件的获取 
4.1 获取时间：2026年07月28日00:00至2026年08月04日23:59
4.2 获取方式：中航招标网（www.avicbid.com）
4.3 招标文件价格：3500.00元或600.00（美元） ，售后不退。
5. 投标文件的递交及开标
5.1 投标文件递交截止时间（开标时间）：2026年08月18日09:30
5.2 递交方式：电子文件递交到电子招标投标交易平台
5.3 开标方式：通过电子招标投标交易平台开标
5.4 逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。逾期送达的投标文件，电子招标投标交易平台将予以拒收。
6. 联系方式

招标人：厦门天马微电子有限公司
地址：中国厦门市翔安区翔安西路6999号

联系人：郭玲（含异议受理）
联系方式：027-81696888

电子邮件：ling_guo@tianma.cn

招标代理机构：中航招采科技（北京）有限公司 
地址：北京市朝阳区慧忠路5号远大中心B座14层

联系人：赵溪
联系方式：010-84892534

电子邮件：zhaox193@avic.com
日期 2026-07-28