北京清华大学高密度等离子体化学气相沉积系统（HDPCVD）采购项目（清采招第20260288号）公开招标公告
项目详情
清华大学高密度等离子体化学气相沉积系统
（
HDPCVD
）
采购项目
公开招标公告
一、项目基本情况
1.
项目编号：
清采招第
20260288
号
2.
项目名称：
清华大学高密度等离子体化学气相沉积系统（
HDPCVD
）采购项目
3.
项目预算金额：
2400
万元、项目最高限价（如有
）
：
2398
万元
4.
采购需求：
包号
标的名称
采购包
预算金额
（万元）
数量
是否允许进口
产品投标
01
高密度等离子体化学气相
沉积系统
（
HDPCVD
）
2400
2
套
是
简要技术需求：
01
包：高密度等离子体化学气相沉积系统（
HDPCVD
）以硅烷为主要反应气体，
通过高频电源产生高密度等离子体
，
沉积氧化硅
、
氮化硅和非晶硅等薄膜
，
可以
用于硬掩模
、
层间介电层
、
侧墙沉积
、
深槽
（
孔
）
填充等工艺
。
适用于
8
英寸标
准晶圆等，具体详见采购需求。
■
注：投标人必须针对本项目所有内容进行投标，不允许拆分投标。
5.
合同履行期限：
合同签订后
12
个月内交付。
合同货物整体质量保证期为验收
合格之日起
至少
12
个月。
6.
本项目是否接受联合体投标：
□
是
■
否。
二、申请人的资格要求（须同时满足）
1.
满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.
落实政府采购政策需满足的资格要求：
2.1
中小企业政策
■
本项目不专门面向中小企业预留采购份额。
2.2
通过
“
信用中国
”
网站
（
www.creditchina.gov.cn
）
和中国政府采购网
（
ww
w.ccgp.gov.cn
）查询信用记录，被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事
人名单
、
政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商
，
没有资格参加本项目的
采购活动
。
2.3
单位负责人为同一人或者存在直接控股
、
管理关系的不同供应商
，
不得同时
参加同一包的采购活动。
2.4
为本项目提供整体设计
、
规范编制或者项目管理
、
监理
、
检测等服务的供应
商，不得再参加本项目的其他采购活动。
3.
本项目的特定资格要求：无。
三、获取招标文件
时间
：
202
6
年
7
月
2
7
日
至
202
6
年
8
月
3
日
，
每天上
午
9:0
0
至
12:00
，
下
午
13:0
0
至
17:00
（北京时间，法定节假日除外）
地点：
北京市丰台区吴家村路
57
号华诚博远设计产业园一层或线上。
方式
：
现场领取
：
须携带法人代表授权委托书原件及被授权人身份证复印件
（
以
上资料均须加盖投标单位公章）。
线上领取
：
线上领取招标文件时须将法人代表授权委托书原件
、
被授权人
身份证复印件
（
以上资料均须加盖投标单位公章
）
彩色扫描件以及
《
招标文件领
取登记表
》
以
PDF
形式发至邮箱
hcby03@126.com
，
邮件主题为
“
项目名称
+
潜在
供应商名称
”
，
邮件正文写明潜在供应商联系人和电话
。
《
招标文件领取登记表
》
详见公告附件。
售价：
100
元
/
包。
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
投标截止时间、开标时间：
2026
年
8
月
18
日
10
点
00
分
（北京时间
）
。
地点：
北京市海淀区华业大厦一层二区采购管理中心第五会议室
(
清华大学东南
门外路东，建设银行西侧进大厅往右前方
20
米左手边，无需入校。不提供临时
来访停车，请提前规划时间
)
。
五、公告期限
自本公告发布之日起
5
个工作日。
六、其他补充事宜
1.
本项目需要落实的政府采购政策
：
节约能源
、
保护环境
、
促进中小企业及监狱
企业发展
、
促进残疾人就业
、
支持乡村产业振兴
、
政府采购本国产品标准及相关
政策
，政府采购政策具体落实情况详见招标文件。
2.
本项目的公告发布媒介
：
仅在中国政府采购网和清华大学采购信息发布平台发
布
。
对其他网站转发本公告可能引起的信息误导
、
造成供应商的经济或其他损失
的，采购人及采购代理不负任何责任。
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系
1.
采购人信息
名
称：清华大学
地
址：北京市海淀区清华园
联系方式：
010-62780051
2.
采购代理机构信息
名
称：华诚博远工程咨询有限公司
地
址：北京市丰台区吴家村路
57
号华诚博远设计产业园
联系方式：
010-81123510
、
010-81123506
3.
项目联系方式
项目
联系人：周满堂、程泽、黄佳、王雪、李莉
电
话：
010-81123510
、
010-81123506
（
HDPCVD
）
采购项目
公开招标公告
一、项目基本情况
1.
项目编号：
清采招第
20260288
号
2.
项目名称：
清华大学高密度等离子体化学气相沉积系统（
HDPCVD
）采购项目
3.
项目预算金额：
2400
万元、项目最高限价（如有
）
：
2398
万元
4.
采购需求：
包号
标的名称
采购包
预算金额
（万元）
数量
是否允许进口
产品投标
01
高密度等离子体化学气相
沉积系统
（
HDPCVD
）
2400
2
套
是
简要技术需求：
01
包：高密度等离子体化学气相沉积系统（
HDPCVD
）以硅烷为主要反应气体，
通过高频电源产生高密度等离子体
，
沉积氧化硅
、
氮化硅和非晶硅等薄膜
，
可以
用于硬掩模
、
层间介电层
、
侧墙沉积
、
深槽
（
孔
）
填充等工艺
。
适用于
8
英寸标
准晶圆等，具体详见采购需求。
■
注：投标人必须针对本项目所有内容进行投标，不允许拆分投标。
5.
合同履行期限：
合同签订后
12
个月内交付。
合同货物整体质量保证期为验收
合格之日起
至少
12
个月。
6.
本项目是否接受联合体投标：
□
是
■
否。
二、申请人的资格要求（须同时满足）
1.
满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.
落实政府采购政策需满足的资格要求：
2.1
中小企业政策
■
本项目不专门面向中小企业预留采购份额。
2.2
通过
“
信用中国
”
网站
（
www.creditchina.gov.cn
）
和中国政府采购网
（
ww
w.ccgp.gov.cn
）查询信用记录，被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事
人名单
、
政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商
，
没有资格参加本项目的
采购活动
。
2.3
单位负责人为同一人或者存在直接控股
、
管理关系的不同供应商
，
不得同时
参加同一包的采购活动。
2.4
为本项目提供整体设计
、
规范编制或者项目管理
、
监理
、
检测等服务的供应
商，不得再参加本项目的其他采购活动。
3.
本项目的特定资格要求：无。
三、获取招标文件
时间
：
202
6
年
7
月
2
7
日
至
202
6
年
8
月
3
日
，
每天上
午
9:0
0
至
12:00
，
下
午
13:0
0
至
17:00
（北京时间，法定节假日除外）
地点：
北京市丰台区吴家村路
57
号华诚博远设计产业园一层或线上。
方式
：
现场领取
：
须携带法人代表授权委托书原件及被授权人身份证复印件
（
以
上资料均须加盖投标单位公章）。
线上领取
：
线上领取招标文件时须将法人代表授权委托书原件
、
被授权人
身份证复印件
（
以上资料均须加盖投标单位公章
）
彩色扫描件以及
《
招标文件领
取登记表
》
以
形式发至邮箱
hcby03@126.com
，
邮件主题为
“
项目名称
+
潜在
供应商名称
”
，
邮件正文写明潜在供应商联系人和电话
。
《
招标文件领取登记表
》
详见公告附件。
售价：
100
元
/
包。
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
投标截止时间、开标时间：
2026
年
8
月
18
日
10
点
00
分
（北京时间
）
。
地点：
北京市海淀区华业大厦一层二区采购管理中心第五会议室
(
清华大学东南
门外路东，建设银行西侧进大厅往右前方
20
米左手边，无需入校。不提供临时
来访停车，请提前规划时间
)
。
五、公告期限
自本公告发布之日起
5
个工作日。
六、其他补充事宜
1.
本项目需要落实的政府采购政策
：
节约能源
、
保护环境
、
促进中小企业及监狱
企业发展
、
促进残疾人就业
、
支持乡村产业振兴
、
政府采购本国产品标准及相关
政策
，政府采购政策具体落实情况详见招标文件。
2.
本项目的公告发布媒介
：
仅在中国政府采购网和清华大学采购信息发布平台发
布
。
对其他网站转发本公告可能引起的信息误导
、
造成供应商的经济或其他损失
的，采购人及采购代理不负任何责任。
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系
1.
采购人信息
名
称：清华大学
地
址：北京市海淀区清华园
联系方式：
010-62780051
2.
采购代理机构信息
名
称：华诚博远工程咨询有限公司
地
址：北京市丰台区吴家村路
57
号华诚博远设计产业园
联系方式：
010-81123510
、
010-81123506
3.
项目联系方式
项目
联系人：周满堂、程泽、黄佳、王雪、李莉
电
话：
010-81123510
、
010-81123506