中国科学院上海微系统与信息技术研究所2026年3至4月政府采购意向公告

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将中国科学院上海微系统与信息技术研究所2026年3至4月政府采购意向公开如下：

序号	采购单位	采购项目 名称	采购品目	采购需求概况	预算金额 (万元)	预计 采购日期	备注
1	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	晶圆激光解键合机	A02100503	详见项目详情	780.000000	2026年03月	详见项目详情
2	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	晶圆临时键合机	A02100503	详见项目详情	1150.000000	2026年03月	详见项目详情
3	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	晶圆光刻机	A02100503	详见项目详情	1300.000000	2026年03月	详见项目详情
4	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	晶圆涂胶显影机	A02100503	详见项目详情	600.000000	2026年03月	详见项目详情
5	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	磁控溅射PVD	A02100503	详见项目详情	2750.000000	2026年03月	详见项目详情
6	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	高温管式炉	A02100503	详见项目详情	380.000000	2026年03月	详见项目详情
7	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	等离子去胶机	A02100503	详见项目详情	400.000000	2026年03月	详见项目详情
8	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	晶圆干法深硅刻蚀机	A02100503	详见项目详情	900.000000	2026年03月	详见项目详情
9	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	等离子体增强化学沉积	A02100503	详见项目详情	2750.000000	2026年04月	详见项目详情
10	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	晶圆清洗机	A02100503	详见项目详情	883.000000	2026年04月	详见项目详情
11	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	晶圆化学机械抛光机	A02100503	详见项目详情	900.000000	2026年04月	详见项目详情
12	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	镀层厚度测试仪（Ag含量测试仪）	A02100503	详见项目详情	139.000000	2026年04月	详见项目详情
13	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	晶圆边缘切削机	A02100503	详见项目详情	98.000000	2026年04月	详见项目详情
14	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	晶圆贴片机（C2W）	A02100503	详见项目详情	491.000000	2026年04月	详见项目详情
15	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	底填胶机台	A02100503	详见项目详情	140.000000	2026年04月	详见项目详情
16	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	真空压膜机	A02100503	详见项目详情	395.000000	2026年04月	详见项目详情

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。