中国航空工业集团EBL电子束光刻设备项目公告

EBL电子束光刻设备项目已具备招标条件。资金情况已落实。中科信工程咨询（北京）有限责任公司（招标代理机构）受中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所（招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。
1. 招标范围
1.1 货物名称：EBL电子束光刻设备
1.2 招标编号：0779-26400341A045
1.3 项目概况
EBL电子束光刻设备通过电磁场精确控制电子束扫描，实现无掩膜加工，可直接完成微纳结构的高精度图形化，具备高分辨率、高灵活性及快速响应等特点，适用于小批量、多轮次迭代的研发场景。该设备将用于面向量子传感应用的光子芯片等器件快速研发，支撑结构设计与优化、新原理方案验证。
设备主要指标：
（1）加速电压：≥100 kV；
（2）最小线宽：≤50 nm；
（3）套刻精度：≤±30 nm；
（4）主场拼接精度：≤±30 nm；
（5）最大主场尺寸：≥1000 μm* 1000 μm。
更多技术指标详见第八章。
1.4 数量：1套。
1.5 交货期：合同签订生效后6个月内到达用户现场。
1.6 项目现场：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所指定地点。
2. 对投标人的资格要求
2.1 投标人必须是响应招标的法人或其他组织，具有独立承担民事责任能力。
2.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。授权书包括制造商直接开具的；或制造商的独资公司开具的（同时须提供制造商与独资子公司的关系说明，并由双方签字或者盖章）。
2.3 投标人投标的同品牌同型号或同品牌相近规格（加速电压相同）设备，2022年1月1日至今销售量≥2套，提供设备销售业绩证明。（有效的合同首页复印件、技术协议复印件、合同复印件对应的发票复印件或不低于20%的收款证明，同时提供合同联系人联系方式，合同复印件需有双方签字盖章日期）。
2.4 本项目不接受联合体投标。
2.5 投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格。
3. 招标文件获取
3.1凡有意参加投标者，请于2026年7月24日至2026年7月31日17时(北京时间)，登录中航工业电子采购平台（http://www.eavic.com）上传汇款底单和下载招标文件,现场不予受理。如有疑问，请致电中航工业电子采购平台服务热线400-890-0880。
3.2 招标文件售价人民币800元或112美元，售后款项不予退还。潜在投标人请将招标文件购买费用支付至中科信工程咨询（北京）有限责任公司（开户行：华夏银行北京西客站支行；帐号：10235000000047830），电子发票将在开标前一周内发送至购买文件时填写的有效的电子邮箱。潜在投标人将付款凭证（形式不限）上传交易平台，经招标人(代理机构)确认后，才能获得招标文件的下载权限。
3.3 投标人必须在中航工业电子采购平台注册，办理CA数字证书与电子签章，否则无法投标。（详见中航工业电子采购平台相关说明）。
4. 投标文件的递交
4.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2026年8月18日9时30分（北京时间），投标人应在截止时间前通过中航工业电子采购平台（http://www.eavic.com）上传加密的电子版投标文件，并在此时间前递交单独密封的纸质版投标文件至陕西省西安市高新区锦业一路19号西安亚丁湾羽安酒店会议室。
4.2逾期送达的投标文件，中航工业电子采购平台将予以拒收。
4.3投标人未按要求上传加密电子版投标文件，或平台软件无法获取、解密投标人上传的电子版投标文件，招标人不予受理。
5. 开标
开标时间同投标文件递交的截止时间，开标地点同投标文件递交地点。
6. 发布公告的媒介
。
7. 监督部门
本招标项目的监督部门为中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所纪检部/审计法律部
8. 联系方式（含异议受理）
招标人名称：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所
地址：陕西省西安市高新区锦业路129号
联系人：任经理
电话：029-61886363
招标代理机构名称：中科信工程咨询（北京）有限责任公司
地址：北京市海淀区金沟河路与采石北路十字路口东南角88号大楼
售卖
联系人：王女士
电话： 029-89249895
项目负责人：王玮
电话：029-89248691、029-89248368
传真：010-88529153
电子邮件：zhaobiaobu@zonkex.com
2026年7月24日

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