中国科学院物理研究所反应等离子体刻蚀系统（RIE）采购合同(2026预算029)

一、合同编号： XS2026073462A
二、合同名称： 中国科学院物理研究所反应等离子体刻蚀系统（RIE）采购合同(2026预算029)
三、项目编号： OITC-G260571629
四、项目名称： 中国科学院物理研究所反应等离子体刻蚀系统（RIE）(2026预算029)
五、合同主体
采购人（甲方）： 中国科学院物理研究所
地 址： 北京市海淀区中关村南三街8号
联系方式：010-82649232
供应商（乙方）：北京北方华创微电子装备有限公司
地 址：北京市经济技术开发区文昌大道8号
联系方式：010-56178658
六、合同主要信息
主要标的名称：反应等离子体刻蚀系统（RIE）(2026预算029)
规格型号（或服务要求）：GSE C200
主要标的数量：1
主要标的单价：2300000.00元
合同金额：230.000000万元
履约期限、地点等简要信息：按双方签订的合同及技术协议，在合同生效后5个月内，供货至物理所，并安装调试达到约定的技术指标。
采购方式：公开招标
七、合同签订日期：2026-07-16
八、合同公告日期：2026-07-20
九、其他补充事宜：2026预算029
附件：
2026预算029 反应等离子体刻蚀系统 国内采购合同.pdf
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