行号
| 采购内容
| 需求数量
| 单位
| 补充说明
| 拟邀请单位
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1
| 790-00002-000,D-RIE window
| 12
| 颗/个
| 无
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司
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2
| 625-00618-011,AD UGR window
| 2
| 颗/个
| 无
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司
|
3
| 710-00114-008,SCRW,VENT,H.S.C,M4x8L,NBK
| 64
| 颗/个
| 无
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司
|
4
| 615-01411-000,BELLEVILLE DISC SPRING; SS
| 100
| 颗/个
| 无
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司
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5
| 625-00407-021,PEEK GASKET
| 100
| 颗/个
| 无
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司
|
6
| 713-00038-265,AD-RIE Gas buffer最内圈
| 12
| 颗/个
| 无
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司
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7
| 713-00038-276,AD-RIE Gas buffer中间圈
| 12
| 颗/个
| 无
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司
|
8
| 713-00038-277,AD-RIE Gas buffer最外圈
| 12
| 颗/个
| 无
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司
|
9
| 540-01297-000,ASM, DZ MESA ESC, RUBBER B
| 2
| 颗/个
| 无
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司
|
10
| 625-00184-023,RING, UPPER GROUND,SIC 1MM
| 14
| 颗/个
| 无
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司
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11
| 625-00010-010,SHOWER HEAD,CVD SIC ON SIC
| 8
|
| 无
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司
|
12
| 625-00024-002,RING, HOT EDGE,CVD SIC,LOW
| 72
|
| 无
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司
|
13
| 625-00010-007,SHOWER HEAD,Si; SINGLE CRY
| 16
|
| 无
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司
|
14
| 625-00024-111,RING, HOT EDGE,CVD SIC,LOW
| 18
|
| 无
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司
|
15
| 625-00117-011,COVER RING ,THICKER; FUSED
| 16
|
| 无
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司
|
16
| 625-00184-004,QUARTZ RING, UPPER GROUND;
| 8
|
| 无
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司
|
17
| 625-00117-110,COVER RING ,THICKER; FUSED
| 12
|
| 无
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司
|
18
| 625-00407-030,PEEK GASKET
| 100
|
| 无
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司
|
19
| 625-00407-020,AD/D TGR screwgasket加套筒
| 200
|
| 无
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司
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