四川GXLF项目大尺寸等离子体增强均匀沉积组件
公告-中标公示四川 发布时间：2026-07-08
项目详情
| 编 号 | 543532 | 所属地区 | 四川省 |
| 上网时间 | 2026/7/8 | 招标方式 | 公开招标 |
GXLF项目大尺寸等离子体增强均匀沉积组件评标结果公示
| 项目及标段名称 | GXLF项目大尺寸等离子体增强均匀沉积组件 | 项目业主 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 项目业主联系电话 | 18780568867 | | 招标人 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 招标人联系电话 | 18780568867 | | 招标代理机构 | 新华招标有限公司 | 招标代理机构联系电话 | 18280855825 | | 开标地点 | 成都市青羊区鼓楼南街101号丰德成达中心7楼 | 开标时间 | 20260707 - 09:00:00 | | 公示期 | 2026年07月08日 至 2026年07月13日 | 投标最高限价（元） | 5200000.00 |
| 中标候选人及排序 | 中标候选人名称 | 质量 | 工期（交货期） | 投标报价（元） | 经评审的投标价（元） | 综合评标得分 | | 第一名 | 成都超迈光电科技有限公司（/） | / | 详见中标候选人公示正文 | 5053500.00 | 5053500.00 | 94.68 | | 第二名 | 大连齐维科技发展有限公司（/） | / | 详见中标候选人公示正文 | 5088000.00 | 5088000.00 | 93.11 | | 第三名 | 广东众元半导体科技有限公司（/） | / | 详见中标候选人公示正文 | 4860000.00 | 4860000.00 | 90.11 |
| 中标候选人评审结果 | | 中标候选人排序 | 中标候选人名称 | 评标专家 | 商务部分得分 | 技术部分得分 | 报价部分得分 | | 第一名 | 成都超迈光电科技有限公司（/） | 招标人代表1 | 10.75 | 22.00 | 59.91 | | 评标专家1 | 10.75 | 24.30 | 59.91 | | 评标专家2 | 10.75 | 23.00 | 59.91 | | 评标专家3 | 10.75 | 25.50 | 59.91 | | 评标专家4 | 10.75 | 25.30 | 59.91 | | 第二名 | 大连齐维科技发展有限公司（/） | 招标人代表1 | 9.00 | 24.60 | 59.43 | | 评标专家1 | 9.00 | 22.00 | 59.43 | | 评标专家2 | 9.00 | 22.50 | 59.43 | | 评标专家3 | 9.00 | 26.50 | 59.43 | | 评标专家4 | 9.00 | 27.80 | 59.43 | | 第三名 | 广东众元半导体科技有限公司（/） | 招标人代表1 | 9.25 | 23.80 | 56.86 | | 评标专家1 | 9.25 | 21.20 | 56.86 | | 评标专家2 | 9.25 | 23.00 | 56.86 | | 评标专家3 | 9.25 | 26.00 | 56.86 | | 评标专家4 | 9.25 | 26.00 | 56.86 |
| 第一中标候选人项目管理机构主要人员（成都超迈光电科技有限公司（/）） | | 职务 | 姓名 | 执业或职业资格 | 职称 | | 证书名称 | 证书编号 | 职称专业 | 级别 | | 项目负责人 | / | / | / | / | / | | 项目技术负责人 | 廖其龙 | 职称证 | / | 材料 | 教授 |
| 第二中标候选人项目管理机构主要人员（大连齐维科技发展有限公司（/）） | | 职务 | 姓名 | 执业或职业资格 | 职称 | | 证书名称 | 证书编号 | 职称专业 | 级别 | | 项目负责人 | 崔瑱瑱 | / | / | / | / | | 项目技术负责人 | 郭方准 | / | / | / | 教授 |
| 第三中标候选人项目管理机构主要人员（广东众元半导体科技有限公司（/）） | | 职务 | 姓名 | 执业或职业资格 | 职称 | | 证书名称 | 证书编号 | 职称专业 | 级别 | | 项目负责人 | / | / | / | / | / | | 项目技术负责人 | 甘志银 | / | / | / | 教授 |
| 第一中标候选人类似业绩（成都超迈光电科技有限公司（/）） | | 项目业主 | 项目名称 | 开工日期 | 竣工（交工）日期 | 建设规模 | 合同价格（元） | 项目负责人 | | 普纳斯玛精密仪器(江苏)有限公司 | 双室高真空PECVD系统 | 20260603 | 20260707 | 双室高真空PECVD系统1套 | 4900000.00 | / | | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 等离子体处理系统 | 20200612 | 20201013 | 等离子体处理系统1套 | 182000.00 | / | | 成都汉普升科技有限公司 | 等离子体增强化学气相沉积系统 | 20260526 | 20260707 | 等离子体增强化学气相沉积系统1套 | 2800000.00 | / | | 中国科学院光电技术研究所 | 大口径干法刻蚀系统 | 20211127 | 20260707 | 大口径干法刻蚀系统1套 | 15830000.00 | / | | 北京上为电气成套设备有限公司 | 等离子体增强化学沉积系统 | 20260530 | 20260707 | 等离子体增强化学沉积系统1套 | 1450000.00 | / | | 天府兴隆湖实验室 | 大口径干法刻蚀系统 | 20221209 | 20250529 | 大口径干法刻蚀系统1套 | 17830000.00 | / | | 第一中标候选人项目负责人类似业绩（成都超迈光电科技有限公司（/）） | | 项目业主 | 项目名称 | 开工日期 | 竣工（交工）日期 | 建设规模 | 合同价格（元） | 技术负责人 | | 无 | 无 | 无 | 无 | 无 | 无 | 无 | | 第一中标候选人技术负责人类似业绩（成都超迈光电科技有限公司（/）） | | 项目业主 | 项目名称 | 开工日期 | 竣工（交工）日期 | 建设规模 | 合同价格（元） | 项目负责人 | | 无 | 无 | 无 | 无 | 无 | 无 | 无 |
| 第二中标候选人类似业绩（大连齐维科技发展有限公司（/）） | | 项目业主 | 项目名称 | 开工日期 | 竣工（交工）日期 | 建设规模 | 合同价格（元） | 项目负责人 | | 大连理工大学 | 等离子体真空系统 | 20211021 | 20220313 | CCP等离子体真空系统2台及ICP等离子体真空系统1台 | 980000.00 | / | | 大连理工大学 | 射频容性耦合等离子体刻蚀实验台A包等离子体真空腔体 | 20221222 | 20240911 | 等离子真空腔体1套 | 945000.00 | / | | 大连理工大学 | 射频容性耦合等离子体刻蚀实验台A包等离子体真空腔体 | 20221222 | 20240911 | 等离子真空腔体1套 | 943000.00 | / | | 大连理工大学 | PECVD工艺腔室与架台 | 20260427 | 20260707 | PECVD工艺腔室与架台1套 | 370000.00 | / | | 第二中标候选人项目负责人类似业绩（大连齐维科技发展有限公司（/）） | | 项目业主 | 项目名称 | 开工日期 | 竣工（交工）日期 | 建设规模 | 合同价格（元） | 技术负责人 | | 无 | 无 | 无 | 无 | 无 | 无 | 无 | | 第二中标候选人技术负责人类似业绩（大连齐维科技发展有限公司（/）） | | 项目业主 | 项目名称 | 开工日期 | 竣工（交工）日期 | 建设规模 | 合同价格（元） | 项目负责人 | | 无 | 无 | 无 | 无 | 无 | 无 | 无 |
| 第三中标候选人类似业绩（广东众元半导体科技有限公司（/）） | | 项目业主 | 项目名称 | 开工日期 | 竣工（交工）日期 | 建设规模 | 合同价格（元） | 项目负责人 | | 深圳市矢量科学仪器有限公司 | 武汉大学真空互联薄膜器件创新研院研发重大科学装置01包 | 20240111 | 20260707 | 分子束外延(MBE)系统1套、微波等离子体化学气相沉积系统(MPCVD)1套、双腔室金属有机化学气相沉积系统(MOCVD)1套、真空互联系统及设备接口改造1套 | 21544000.00 | / | | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | HDC涂层制备装置 | 20260428 | 20260707 | W掺杂HDC涂层制备装置2套和HDC涂层制备装置1套 | 2680000.00 | / | | 湖北一半天制药有限公司 | 微波等离子体化学气相沉积设备 | 20210315 | 20260707 | MPVCD设备6套 | 5180000.00 | / | | 武汉大学 | MPCVD半导体工艺系统 | 20220210 | 20230427 | MPCVD半导体工艺系统升级1套 | 485000.00 | / | | 海南明日进出口贸易有限公司 | 微波等离子体化学气相沉积设备材料 | 20220927 | 20250515 | MPVCD设备材料55套 | 38500000.00 | / | | 第三中标候选人项目负责人类似业绩（广东众元半导体科技有限公司（/）） | | 项目业主 | 项目名称 | 开工日期 | 竣工（交工）日期 | 建设规模 | 合同价格（元） | 技术负责人 | | 无 | 无 | 无 | 无 | 无 | 无 | 无 | | 第三中标候选人技术负责人类似业绩（广东众元半导体科技有限公司（/）） | | 项目业主 | 项目名称 | 开工日期 | 竣工（交工）日期 | 建设规模 | 合同价格（元） | 项目负责人 | | 无 | 无 | 无 | 无 | 无 | 无 | 无 |
| 其他投标人（除中标候选人之外）的评审情况 | | 投标人名称 | 投标报价（元）或否决投标依据条款（投标文件被认定为不合格所依据的招标文件评标办法中的评审因素和评审标准的条款） | 经评审的投标价（元）或否决投标理由（投标文件被认定为不合格的具体事实,不得简单表述为未响应招标文件实质性内容、某处有问题等） | 综合评估得分或备注 | | 沈阳腾鳌真空技术有限公司 | 5163100.00元(/) | 5163100.00元(/) | 69.66 | | 武汉博发灵动科技有限责任公司 | 5130000.00元(/) | 5130000.00元(/) | 70.01 | | 附注（其他需公示的内容） | 无 | | 接收异议的联系人及联系方式 |
联系人：张晟 | 联系方式：18280855825 | 监督部门名称及监督电话 | 行政监督部门：中国工程物理研究院固定资产建设投资管理中心 | 联系方式：0816-2485682 | | 监督部门名称及监督电话 | 行政监督部门：中国工程物理研究院固定资产建设投资管理中心 | 联系方式：0816-2485682 | 行业主管部门：无 |
联系电话：无 | | 异议投诉注意事项 | 1.投标人或者其他利害关系人对依法必须进行招标的项目的评标结果有异议的，应当在中标候选人公示期间提出。招标人应当自收到异议之日起3日内作出答复；作出答复前，应当暂停招标投标活动。
2.投标人或者其他利害关系人认为评标结果不符合法律、行政法规规定的，可以自知道或者应当知道之日起10日内向有关行政监督部门投诉。投诉前应当先向招标人提出异议，异议答复期间不计算在前款规定的期限内。投诉书应当符合《工程建设项目招标投标活动投诉处理办法》规定。
3.投诉人就同一事项向两个以上有权受理的行政监督部门投诉的，由最先收到投诉的行政监督部门负责处理。
4.应先提出异议没有提出异议，超过投诉时效等不符合受理条件的投诉，有关行政监督部门不予受理；
投诉人故意捏造事实、伪造证明材料或者以非法手段取得证明材料进行投诉，给他人造成损失的，依法承担赔偿责任。
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| 招标人主要负责人或其委托人签字、盖单位章： | 招标代理机构主要负责人或其委托人签字、盖单位章： |
注：1.实行电子评标的，中标候选人公示的内容作为评标报告的一部分，由评标软件自动生成，评标委员会复核，招标人或其委托的招标代理机构电子签名和签章确认；还没有实行电子评标的，招标人应根据公示标准文本要求，严格按评标报告和投标文件真实完整地填报公示信息，不得隐瞒、歪曲应当公示的信息，并对填写的中标候选人公示内容的完整性、真实性、准确性和一致性负责。表中所有空格内容均须填写，不得空白，如确实不须填写或无法填写，应在空格中填写“无”。
2.中标候选人是否排序由招标文件规定。招标文件规定排序的，评标委员会按招标文件的要求排序，发布人按评标结果公示排序；招标文件未规定排序的，评标委员会推荐中标候选人不排序，发布人按评标结果不公示排序。
3.中标候选人是联合体的，“中标候选人名称”中联合体各方的名称均应填写。
4.表中的“中标候选人类似业绩”和“中标候选人项目负责人类似业绩” 应填写中标候选人在投标文件中所附所有业绩。
5.表中的“项目负责人”施工招标指项目经理、 监理招标指项目总监等；表中的“项目技术负责人”是指项目主要技术人员或项目总工，如设计中只有多个专业技术负责人，应都作为项目技术负责人，扩展表格，分别填写。
6.表中的“开工日期”和“竣工日期”、“交工日期”以各有关行政监督部门相关规定为准。
7.日期（年月日）的格式统一以阿拉伯数字表示。如：2015年9月1日，填写为20150901； 2015年9月，填写为201509； 再如2015年，填写为2015，2015/9/15 9:00:00填写为20150915－9:00:00。
8.表中的“合同价格”，是指承包人按合同约定完成了包括缺陷责任期内的全部承包工作后，发包人应付给承包人的金额，包括在履行合同过程中按合同约定进行的变更和调整。元指人民币元。
9.表中的“建设规模”采购招标应填写主要货物的数量、类型、规格等技术参数。
10.参与投标的所有投标人都需要公示，除中标候选人之外，其他投标人在“其他投标人（除中标候选人之外的）评审情况”中填写。没有被否决的投标，填写投标人名称、投标报价（元）、经评审的投标价（元）、综合评标得分；被否决的投标，填写投标人名称、否决投标依据条款、否决投标理由、备注。
11.投标人认为评标委员会对本单位的评审可能存在错误的，可以在公示期内要求招标人提供评标报告中关于本单位的评审内容，招标人在收到投标人申请之日起，3日内予以答复。招标人不得泄露其他投标人相关的评标内容。
12.中标候选人公示纸质文本招标人须加盖单位公章，多页还应加盖骑缝章。
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