8吋深硅刻蚀设备采购项目评标结果公示公告

【中国国际招标网】
项目名称：8吋深硅刻蚀设备采购项目
招标项目编号：0722-264YDZB11ZB2/04
招标范围：04包：采购全新8吋深硅刻蚀设备1套，用于8吋线干法刻蚀工序，为实现半导体集成电路8吋硅片制造流程中的深硅刻蚀工艺。（设备通过电感耦合方式产生高密度等离子体，和硅衬底发生化学和物理作用，以达到去除特定区域硅衬底而形成沟槽的目的）。
招标机构：中国远东国际招标有限公司
招标人：陕西电子芯业时代科技有限公司
开标时间：2026-06-02 09:30
公示开始时间：2026-06-03 17:17
评标公示截止时间：2026-06-08 23:59
中标候选人名单：

候选人排名	投标商名称	制造商	制造商国别及地区
1	北京北方华创微电子装备有限公司	北京北方华创微电子装备有限公司	中国