短波紫外大视场大数值孔径光学探头MTF等指标检测设备采购项目更正公告

一、项目基本情况
原公告的采购项目编号：0722-26FE6698SZF-1
原公告的采购项目名称：短波紫外大视场大数值孔径光学探头MTF等指标检测设备采购项目
首次公告日期：2026年5月29日
二、更正信息
1、将本项目《招标文件》“第四章 用户需求书”中“2.2、技术及质量参数要求”更正如下：
原招标文件内容：
(三)像面6维微米级位移台
技术参数：

序号	需求项	多轴定制
1	运动参数约束：
1.1	行程 (X)	±100 mm
1.2	行程 (Y)	±30 mm
1.3	行程 (Z)	±400 mm
1.4	行程 (Ry)	±8°
1.5	行程 (Rz)	±8°
1.6	分辨率/最小步长(XYZ)	≤1 μm
1.7	分辨率/最小步长(RxRz)	≤0.001°
1.8	定位精度 (XYZ)	≤±4 μm（实际使用环境标定后）
1.9	定位精度 (RxRz)	≤0.0075°（实际使用环境标定后）
1.10	双向重复定位精度 (XYZ)	≤ ± 2μm
1.11	双向重复定位精度 (RxRz)	≤0.005°
1.12	直线度（XYZ）每100mm有效行程	≤± 2 μm
1.13	平面度（XYZ）每100mm有效行程	≤± 3 μm
1.14	偏摆、俯仰、翻滚	± 5″
1.15	整机载荷	≤200kg
1.16	行程 (大范围工位切换X)	1300mm
1.17	重复定位精度 (工位切换X)	≤±10 μm
1.18	各轴间运动耦合误差	＜18″

更正为：
(三)像面龙门微米级位移台
技术参数：

序号	需求项	多轴定制
1	运动参数约束：
1.1	行程 (X)	±100 mm
1.2	行程 (Y)	±30 mm
1.3	行程 (Z)	±400 mm
1.4	行程 (Ry)	±8°
1.5	行程 (Rz)	±8°
1.6	分辨率/最小步长(XYZ)	≤1 μm
1.7	分辨率/最小步长(RxRz)	≤0.001°
1.8	定位精度 (XYZ)	≤±4 μm（实际使用环境标定后）
1.9	定位精度 (RxRz)	≤0.0075°（实际使用环境标定后）
1.10	双向重复定位精度 (XYZ)	≤ ± 2μm
1.11	双向重复定位精度 (RxRz)	≤0.005°
1.12	直线度（XYZ）每100mm有效行程	≤± 2 μm
1.13	平面度（XYZ）每100mm有效行程	≤± 3 μm
1.14	偏摆、俯仰、翻滚	± 5″
1.15	行程 (大范围工位切换X)	1300mm
1.16	重复定位精度 (工位切换X)	≤±10 μm
1.17	各轴间运动耦合误差	＜18″

2、相关时间延期更正如下：
1）获取招标文件截止时间更正为：2026年6月12日17：00（北京时间）。
3、其他事项不变。
三、其他补充事宜
1、招标文件如涉及上述内容的亦作相应修改，本通知与原招标文件矛盾之处，以本通知为准。
四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.招标人信息
名称：深圳中科飞测科技股份有限公司
地址：深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301-14号
联系人：梁女士
电话：0755-82574995
2.招标代理机构信息
名称：中国远东国际招标有限公司
地址：深圳市福田区上步南路1001号锦峰大厦22楼
联系人：余女士
电话：《招标（采购）文件》获取咨询）0755-83629806、82078819、83629816
（其他咨询）0755-82078819、82077364转101
传真：0755-82077519
邮箱：info@zgyd11.com、dept1@zgyd11.com
3.项目联系方式
项目联系人：凌女士、李女士
电 话：0755-82077364转105
中国远东国际招标有限公司
2026年6月3日