河北中国电子科技集团公司第十三研究所原子导电力显微镜采购

原招标文件中：
（2）扫描器XY方向闭环噪声水平≤0.15nm（RMS），Z方向闭环噪声水平≤0.035nm（RMS）。
（6）扫描电容显微镜可检测掺杂浓度范围1.0×1015-1.0×1020/cm3，空间分辨率≤10nm。
投标文件递交截止时间：2026年5月29日 9:00
现招标文件变更为：*
（2）扫描器XY方向闭环噪声水平≤0.15nm（RMS），Z方向闭环噪声水平≤0.035nm（RMS）。
*
（6）扫描电容显微镜可检测掺杂浓度范围1.0×1015-1.0×1020/cm3，空间分辨率≤10nm。
投标文件递交截止时间：2026年6月17日 9:00