安徽芜湖智能传感器研究院有限公司介质及通用刻蚀机等设备采购终止公告

办理流程公开
办理流程公开 累计提交时间：
0天0小时0分0秒
累计办理时间：
0天0小时6分0秒
交易系统提交 提交人：
交易3.0数据交换用户
办理状态：
提交
提交节点：
2026-05-19 10:28:00
提交用时：
0天0小时0分
中心审核 办理状态：
通过
办理时间：
2026-05-19 10:33:58
办理用时：
0天0小时6分
                       
一、项目基本情况
项目编号：WH21GQ2026HW8914
项目名称：芜湖智能传感器研究院有限公司介质及通用刻蚀机等设备采购
二、项目终止的原因
埃克斯控股（北京）有限公司：未见深硅刻蚀机“*12.下电极BRF射频功率≥1500W； 下电极BRF射频频率：≤400KHz”的符合证明资料，实质性要求不符合招标文件要求，作无效标处理。得旭智能科技（佛山）有限公司：未见深硅刻蚀机
（1）“*12.下电极 BRF射频功率≥1500W； 下电极 BRF 射频频率：≤400KHz”；
（2）“*19.工艺腔具备中心边缘分区进气，配置不低于 8 路气体气柜，中心进气不低于 5 路，边缘进气不低于 3 路，气柜漏气率：≤0.5mTorr/min；工艺气体配置至少包含：C4F8（中心）、C4F8 （边缘）；”
（3）“*20.工艺腔静电卡盘配置具有双区背氦冷却的静电卡盘，可吸附硅片和 SOI 片。”符合的证明资料，实质性要求不符合招标文件要求，作无效标处理。经评审，有效投标单位不足三家。
三、其他补充事宜
本次采购终止。本项目重新组织采购时，将重新在芜湖市公共资源交易服务网（http://whsggzy.wuhu.gov.cn/）发布公告，请各潜在投标单位关注网站。
四、凡对本次采购提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名称：芜湖智能传感器研究院有限公司
地址：安徽省芜湖市鸠江区皖江财富广场A1#楼1002室
联系方式：0553-5992160 　　　　　　　
2.采购代理机构信息
名称：安徽长江产权经纪有限公司 　 
地址：芜湖市镜湖区渡春路1号
联系方式：13355531441、18305530407　 
3.项目联系方式
项目联系人：刘亮、唐晨、冯建敏　
电话：13355531441、18305530407