航空工业集团等离子增强型化学气相沉积设备及NSO制程腔(二次招标)

 等离子增强型化学气相沉积设备及NSO制程腔(二次招标)招标公告
1.招标条件 
本招标项目等离子增强型化学气相沉积设备及NSO制程腔(二次招标),招标人为厦门天马微电子有限公司，招标项目资金已落实，该项目已具备招标条件，现对等离子增强型化学气相沉积设备及NSO制程腔(二次招标)进行公开招标。
2.项目概况与招标范围 
项目概况与招标范围：等离子增强型化学气相沉积设备及NSO制程腔 1台等离子增强型化学气相沉积设备和一个NSO制程腔 
招标编号：0730-264010020011-05
包名称：等离子增强型化学气相沉积设备及NSO制程腔(二次招标)
数量：1台等离子增强型化学气相沉积设备和一个NSO制程腔
简要技术要求：1）在低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器工业中，PECVD(等离子增强型化学气相沉积)工艺用于形成表面覆盖层和非晶硅层(3Layer)、栅绝缘层（GI：Gate Insulator）、层间绝缘层（ILD：Interlayer Dielectric）和钝化层薄膜（Passivation）； 2）基板尺寸：1500mm （W） × 1850 mm（L）；基板厚度：0.4~0.7mm； 3）设备可用于生产表面覆盖层和非晶硅层薄膜，栅绝缘层薄膜，层间绝缘层和钝化层薄膜。 
3.投标人资格要求 
3.1 投标人资格要求：
（1）制造商应具有制造同类设备的经验，有销售业绩。制造商在中国有代理或维修机构能对产品提供长期维修服务保障。投标方推荐的设备应成熟可靠，2020年1月至今必须有同类型设备销售记录，用户反映效果良好（投标人需要提供业绩资料）。
（2）一旦中标，投标人必须是与买方签订本项目合同的签约方。如投标人不具备与买方签订合同的能力，其投标将被否决。（说明：招标中必须谁投标、谁中标、谁签合同，不能甲投标，乙签合同。）
3.2 本次招标：不接受联合体投标。
3.3 未领购招标文件是否可以参加投标：不可以。
4. 招标文件的获取 
4.1 获取时间：2026年05月09日00:00至2026年05月15日23:59
4.2 获取方式：中航招标网（www.avicbid.com）
4.3 招标文件价格：3500.00元或600.00（美元） ，售后不退。
5. 投标文件的递交及开标
5.1 投标文件递交截止时间（开标时间）：2026年06月02日09:30
5.2 递交方式：电子文件递交到电子招标投标交易平台
5.3 开标方式：通过电子招标投标交易平台开标
5.4 逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。逾期送达的投标文件，电子招标投标交易平台将予以拒收。
6. 联系方式

招标人：厦门天马微电子有限公司
地址：中国厦门市翔安区翔安西路6999号

联系人：郭玲（含异议受理）
联系方式：027-81696888

电子邮件：ling_guo@tianma.cn

招标代理机构：中航招采科技（北京）有限公司 
地址：北京市朝阳区慧忠路5号远大中心B座14层

联系人：齐子薇
联系方式：010-84892534

电子邮件：qizw003@avic.com
日期 2026-05-09