燕东股份高压大功率芯片生产能力提升项目栅氧化炉设备采购评标结果公示公告

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项目名称：燕东股份高压大功率芯片生产能力提升项目栅氧化炉设备采购
招标项目编号：1289-264026ZB0317
招标范围：编号 设备名称 数量 简要技术说明 1 栅氧化炉设备 1台 用于第三代半导体 SiC 晶圆的干氧、湿氧、一氧化氮退火等高温热处理工艺使用，适用于
4、6 吋碳化硅片，最高工艺温度 1350℃，配有自动装片装置，具有 Cassette to Cassette 装片功能。
招标机构：华采招标集团有限公司
招标人：北京燕东微电子股份有限公司
开标时间：2026-05-07 10:00
公示开始时间：2026-05-08 13:03
评标公示截止时间：2026-05-12 23:59
中标候选人名单：

候选人排名	投标商名称	制造商	制造商国别及地区
1	北京北方华创微电子装备有限公司	北京北方华创微电子装备有限公司	中国