分子蒸发源系统采购公告

基本信息：
申购主题：分子蒸发源系统采购
报价要求：国产含税
发票类型：增值税专用发票
付款方式：验收合格后三十个工作日内
送货时间：合同签订后3天内送达
项目要求：免费上门安装（含材料费）
预算：185,600.00 人民币
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收货地址：江西省/南昌市/红谷滩区/****
供应商资质： 特别提醒：因项目紧急，请供应商严肃报价、慎重报价，如不满足采购要求或截标后弃标，则视为扰乱采购工作，我单位保留追究的权利，包括不限于“限制竞价”“拉黑供应商”“差评”等信誉操作
备注说明：
采购明细：

序号	设备名称	数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

1

分子蒸发源系统

1(套)

185600

Kentax

TCEorg-3BSC

1) 蒸发源能同时盛放至少三个坩埚；2) 可以在不破坏主腔体真空的情况下，自由更换坩埚及材料；3) 至少有两个坩埚可以同时工作，且温控稳定性在±0.1℃；4) 安装法兰CF 35；5) 使用石英坩埚，坩埚外径≤5mm，内径≥3mm，长度14.5 mm～15mm；6) 蒸发源可以倒置使用；7) 蒸发温度范围20℃～850℃，三个坩埚之间无交叉干扰；其中一个加热到850℃时，另外两个坩埚温度不得超过100℃；8) 内置挡板，可以实现单开、双开、三开、全关等功能；9) 可气冷、水冷、液氮冷却；10) 带线性推进器，伸缩距离≥170mm，蒸发源可完全收缩进波纹管；11) 有至少一路CF16开口可用于旁抽；12) 配备VAT全金属角阀；13) 配套控制器有≥2路独立控温系统，带 RS485 接口的可编程微处理器；14) 为了尽可能减小加热对超高真空系统的真空度影响，要求蒸发源加热器的功耗足够小，具体要求：维持150℃时功耗不超过1.5W，维持350℃时功耗不超过4W，维持550℃时功耗不超过9W；维持850℃时功耗不超过35W；15) 为了使用方便，要求坩埚加热到550℃以内温度时，可以无需连接冷却水进行冷却；

电话支持:7x24小时;服务年限:五年;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;提供培训;

报名入口：https://www.easyjcx.com/#/purchase/detail/571952e0becc40369bd4d463ffce071b