江苏南京理工大学2024年政府采购意向公开（第63批）

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将南京理工大学2024年政府采购意向公开（第63批）政府采购意向公开如下：

序号	采购项目名称	意向编号	采购品目	采购需求概况	预算金额(万元)	预计采购日期	备注
1	微电子学院电子束蒸镀设备采购	CGYX2024105	其他电工电子专用生产设备	电子束蒸镀设备，1套。主要参数包括，电子束蒸镀主系统： 1、工件台尺寸：圆形工件台，直径6英寸；2、装载量：可装载一个6英寸样品或更小尺寸样品；3、工件台降温：工件台可通水冷却，保证工艺温度不高于80℃；4、工作台转速：0至20转/分钟可调；5、电子枪功率：6千瓦；6、坩埚数量：4*15CC；7、极限真空：优于1E-5Pa；8、抽气速率：工艺腔从大气抽到5E-4Pa的时间少于30分钟；9、漏率：优于6E-3Pa.L/s；10、最小镀膜厚度≤1nm，最大厚膜厚度≥3000nm；11、真空测量系统的测量范围为大气到4E-7Pa；12、晶振控制器，速率0.1~1 nm可调，速率精度0.01 nm/s；13、镀膜均匀性：直6英寸范围内均匀性优于±2%；14、镀膜重复性：批次间重复性优于±2%；磁控溅射辅助模块：15、工件台尺寸：圆形工件台，直径4英寸；16、装载量：可装载一个4英寸样品或更小尺寸样品；17、工件台加热：工件台最高加热温度为200℃，温度控制精度为±0.1℃；18、工作台转速：0至20转/分钟可调；19、直流溅射电源：1*500W；20、射频溅射电源：1*300W；21、靶枪：3*2英寸；22、极限真空：优于1E-5Pa；23、抽气速率：工艺腔从大气抽到5E-4Pa的时间少于30分钟；24、漏率：优于6E-3Pa.L/s；25、最小镀膜厚度≤1nm，最大厚膜厚度≥3000nm；26、真空测量系统的测量范围为大气到4E-7Pa，工艺压力测量精度≤0.01mTorr；27、镀膜均匀性：直4英寸范围内均匀性优于±2%；28、镀膜重复性：批次间重复性优于±2%28、镀膜重复性：批次间重复性优于±2%	200	2024年07月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
南京理工大学招标办公室
2024年06月25日