江苏南京理工大学2024年政府采购意向公开（第183批）

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将南京理工大学2024年政府采购意向公开（第183批）政府采购意向公开如下：

序号	采购项目名称	意向编号	采购品目	采购需求概况	预算金额(万元)	预计采购日期	备注
1	固体微结构紫外光刻加工系统	CGYX2024225	A02062002 电气物理设备	购标名称：固体微结构紫外光刻加工系统。采购标的数量：一套（台）。设备指标： （1）无掩膜激光直写光刻； （2）最大行程：X=100mm，Y=100mm； （3）最小分辨率300nm，支持600nm、900nm的光学分辨率的自动切换； （4）配置高精密的温度控制器，控制温度±0.5℃； （5）样品尺寸：最大 125mm*125mm，向下兼容； （6）曝光尺寸：最大100mm*100mm； （7）最大扫描速度：200mm/s； （8）光刻速度：大于等于1.7mm2/min； （9）最大灰度光刻阶数：4095阶； （10）支持灰度光刻ECM面型补偿功能 （11）样品固定方式：真空吸附，不同尺寸的卡盘进行样品定位； （12）自动聚焦：650nm红外实时聚焦； （13）支持GDSII，DXF，BMP，STL，TIFF等多种数据格式； （14）定位精度分辨率：2nm，重复定位精度：20nmRMS； （15）设备需集成度高，占地面积小于0.8m*0.8m*0.8m； （16）运行稳定，可长时间光刻； （17）设备的架构开源度高，可有利于更多的客制化开发和使用。上述系统均应能提供全面且免费的安装和培训，质保期不少于1年，完整的售后服务及原厂技术支援响应。质保期外及时响应用户维护需要。	258	2024年12月	强基拓新创新平台

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
南京理工大学招标办公室
2024年10月17日