高精度薄膜元件制备系统【重新招标】-公开招标公告

1. 招标条件 本招标项目高精度薄膜元件制备系统招标人为中国科学院上海技术物理研究所，招标项目资金来自国拨资金，出资比例为100%。该项目已具备招标条件，现对高精度薄膜元件制备系统进行国内公开招标。
2. 项目概况与招标范围 2.1 招标编号：ZKX20260915A002
2.2 招标项目名称：高精度薄膜元件制备系统。
2.3 数量：1套。
2.4核心技术指标：
1)       有效监控光谱范围：0.4～2.4μm
2)       膜层有效控制精度：单层光学厚度2‰
3)       镀膜层数：可达150
4)       真空室尺寸：1300mm
5)       有效均匀区：500mm
6)       有效均匀区均匀性：1%
7)       蒸发源：两把E型电子枪+6～8位旋转阻蒸
8)       基板沉积温度：90～250℃可调
9)       辅助沉积系统：RF射频离子源
10)   真空度：极限真空可达8×10-5Pa；大气环境至1×10-3 Pa，真空度抽气时间不超过30分钟
2.5 交货期：合同生效后5个月内。
3. 投标人资格要求 3.1 投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。
3.2本次招标接受代理商投标，提供制造商有效授权。
3.3本次招标不接受联合体投标。
3.4其他要求：有委托代理人时，委托代理人须提供投标截止时间前最近6个月中任意1个月社保证明文件（如果委托代理人的社保不是投标人缴纳，需要另行提供委托代理人和投标人之间的用工合同及投标人委托第三方投保的有效代缴证明）。无委托代理人，法定代表人参与投标时，无需提供法定代表人（单位负责人）社保证明文件。
3.5投标人必须向招标代理机构购买招标文件才具有投标资格。
4. 招标文件的获取 4.1凡有意参加投标者，请于2026年4月24日至2026年5月6日17时(北京时间)，登陆中招联合招标采购平台（网址：www.365trade.com.cn,注册操作咨询电话010-86397110）购买并下载招标文件，现场不予受理。
4.2 招标文件每套售价800元(从中招联合招标采购平台下载电子发票），售后不退。
5. 投标文件的递交 5.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2026年5月15日14时00分，地点为上海市虹口区玉田路500号，十五号楼一楼会议室。
5.2逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。
5.3招标人在本项目递交投标文件截止时间和递交地点开标，邀请所有投标人参加开标，投标人未派代表参加开标的，视为默认开标结果。
6. 发布公告的媒介 。
7. 监督部门 本招标项目的监督部门为中国科学院上海技术物理研究所。 8.    异议受理方式 投标人或者其他利害关系人如有异议，须将加盖公章的书面异议函以电子邮件形式发送至ZYTSzbb@zonkex.com，如未提供加盖公章的异议函，将被视为无效异议。 9. 联系方式 招标人名称：中国科学院上海技术物理研究所
地址：上海市虹口区玉田路500号

联系人：祝侃
电话：021-25051021

招标代理机构：中科信工程咨询（北京）有限责任公司
地址：北京市海淀区金沟河路与采石北路十字路口东南角88号大楼
售卖
联系人：郭女士
电话：010-88529955
项目负责人：贾梦星
电话：010-68388750

传真：010-88529153

电子邮件：zhaobiaobu@zonkex.com
2026年4月24日